相城一項目入選2021年省科技成果轉(zhuǎn)化專項資金擬立項項目

近日，2021年省科技成果轉(zhuǎn)化專項資金擬立項項目進行公示，全省共89個項目入選。其中，相城一項目成功上榜。這也是2017年以來相城區(qū)在該專項資金項目中取得的新突破。

省科技成果轉(zhuǎn)化專項資金立項項目是江蘇省財政預算常年安排的單項資助金額最大的項目，因入選項目科技含金量高、所獲支持力度大而備受關注。相城區(qū)此次上榜項目，是金宏氣體的集成電路用電子級正硅酸乙酯的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目。

蘇州金宏氣體股份有限公司成立于1999年，是專業(yè)從事氣體的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務一體化解決方案的環(huán)保集約型氣體綜合供應商，主要為客戶提供各種大宗氣體、特種氣體和天然氣的一站式供氣解決方案。公司于2020年6月在科創(chuàng)板上市（股票代碼：688106）。公司建設有國家企業(yè)技術中心、國家博士后科研工作站、省級高純特種氣體工程中心；商標、專利等知識產(chǎn)權(quán)多次榮獲知名商標及專利獎；企業(yè)先后獲評國家專精特新“小巨人”企業(yè)、國家火炬計劃重點高新技術企業(yè)、國家知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)、國家工信部品牌培育試點企業(yè)、江蘇省創(chuàng)新型企業(yè)、蘇州市市長質(zhì)量獎等榮譽，并與南京大學、浙江大學、天津大學、蘇州大學、華東師范大學等多所國內(nèi)知名高校院所開展產(chǎn)學研合作。

該項目目標產(chǎn)品為集成電路中制備外延材料時使用的電子級正硅酸乙酯(TEOS)，屬于微電子高端化學品，是第三代半導體材料和新興半導體產(chǎn)業(yè)中重要的前驅(qū)體材料，需要嚴格控制金屬離子雜質(zhì)的含量。項目研發(fā)過程中，金宏氣體憑借十幾年電子氣體開發(fā)經(jīng)驗，在天津大學的技術支持下，克服電子級TEOS純化過程中金屬離子等雜質(zhì)難以去除、痕量金屬難檢測、設備、管道、包裝容器易污染等多項技術難題，形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電子級TEOS純化、檢測、過濾、充裝技術。

“目標產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)，促進我國半導體行業(yè)的發(fā)展，解決‘卡脖子’難題?！苯鸷隁怏w相關負責人介紹，項目研發(fā)對實現(xiàn)國內(nèi)集成電路電子材料的自主可控、打破國外壟斷以及國產(chǎn)替代進口具有十分重要的意義。

近年來，我區(qū)科技創(chuàng)新能力顯著增強，科技成果轉(zhuǎn)化率不斷提高，項目規(guī)模和科技含量持續(xù)提升。相城區(qū)將提升企業(yè)創(chuàng)新能力、培育創(chuàng)新型企業(yè)集群作為根本落腳點，不斷創(chuàng)新項目組織機制，采取無償資助、貸款貼息等方式，促使區(qū)內(nèi)科技成果的轉(zhuǎn)化落地不斷提速，幫助一批高成長性的項目企業(yè)由小到大、由弱到強，由追趕者變成了領跑者的“小巨人”，培育了一批創(chuàng)新型領軍企業(yè)。（龐淑婕）